SVA-V型不銹鋼硅烷燃燒塔為我公司專利產品(專利號:201820899876.8),作用是處理PECVD尾氣中的硅烷和氨氣,該廢氣處理設備已在多個工程項目上成功運行。
工作原理是硅烷與輸入的壓縮空氣或新風補氣口補入的空氣接觸而自燃或發生氧化反應,反應后生成大量的二氧化硅粉塵;氨氣采用水吸收形成氨水。一般設備運行二個月左右需清理二氧化硅粉塵,八個月至一年需清洗設備內部的吸收填料、收水填料及噴頭。
粉塵吹掃HCR-A-2型硅烷燃燒塔是雙氣流進氣設計,該設計主要便利可不停機清渣保養,當設備運行一個月后,應打開左、右氣流上的粉塵吹掃口進行清渣。
硅烷氧化燃燒后生成的二氧化硅粉塵大部分會沉積在集塵箱內,打開下面灰桶即可清理。
圖片示例
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